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SENSIRION液體流量計(jì)SLQ-QT105針對半導(dǎo)體應(yīng)用
SENSIRION液體流量計(jì)SLQ-QT105系列針對要求苛刻的涂料系統(tǒng)的定做，是高達(dá)120 ml/min流量的烴基液體的半導(dǎo) 體級-傳感器解決方案。

該傳感器基于Sensirion成熟的熱式傳感器技術(shù)，開辟了靈敏度、可靠性和速度方面的新前景。SLQ-QT105的快速 響應(yīng)時(shí)間有助于高度動(dòng)態(tài)過程的準(zhǔn)確監(jiān)測，如快速分配操作。該傳感器配備4x3mm PFA管件，無運(yùn)動(dòng)部件，通過一 個(gè)筆直的流道壁進(jìn)行非侵入性測量。所提供的智能數(shù)字接口(如RS485)可實(shí)現(xiàn)具有總線能力的遠(yuǎn)距離通訊。

對于120 ml/min流量的水基液體或高粘度液體，請參閱我們的液體流量計(jì)SLQ-QT500。

SENSIRION液體流量計(jì)SLQ-QT105性能參數(shù)
烴基液體的大流量：120 ml/min
適用于光致抗蝕劑和溶劑
低至低流量的高靈敏度
快速響應(yīng)時(shí)間低至30 ms
RS485、USB或0-10 V模擬電壓輸出
的耐化學(xué)性
惰性觸液材質(zhì)：PCTFE、PFA和石英玻璃材料
保證純度
筆直流道，無運(yùn)動(dòng)部件
大工作壓力：3 bar（可按要求提供高壓強(qiáng)等級）

應(yīng)用
半導(dǎo)體過程控制
光刻膠分配
快速給藥操作
SLQ-QT500，SLQ-QT500等型號優(yōu)勢供應(yīng)，貨期短，價(jià)格好，詳情請到站內(nèi)咨詢周工